TRuST（トラスト）に関するおすすめ記事 | fabcross for エンジニア

タグ：TRuST（トラスト）

• 
  • 2020-9-29
  • ニュース, 化学・素材系, 技術ニュース
  • TANAKAホールディングス, TRuST（トラスト）, プリカーサー, 化学気相成長法（CVD）, 原子層堆積（ALD）, 液体ルテニウムプリカーサー, 田中貴金属工業

  高蒸気圧のCVD／ALD用プリカーサー「TRuST」を開発――優れた段差被覆性と成膜速度向上　田中貴金属工業ら

  TANAKAホールディングスは2020年9月28日、同社グループ会社の田中貴金属工業と韓国の嶺南大学校工科大学が協同で、世界最高水準の蒸気圧を持つCVD／ALD用液体ルテニウムプリカーサー「TRuST（トラスト）」を開発…

  詳細を見る

  • Tweet
  -
  •