タグ:独立昇降軸付水平多関節ロボット(DGCR)
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【展示会レポート】ISOクラス2対応のプロトスキャリア対応自動移載システム/ジェーイーエル
1月13~15日に東京ビッグサイトで開催された「インターネプコンジャパン 2016」内の「ライトテックEXPO」で、ジェーイーエルは「プロトスキャリア対応自動移載システム」を中心に、反り、薄物ウエハ対応ベルヌーイチャック…詳細を見る
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