【展示会レポート】ISOクラス2対応のプロトスキャリア対応自動移載システム／ジェーイーエル

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1月13～15日に東京ビッグサイトで開催された「インターネプコンジャパン 2016」内の「ライトテックEXPO」で、ジェーイーエルは「プロトスキャリア対応自動移載システム」を中心に、反り、薄物ウエハ対応ベルヌーイチャック、ベルヌーイピンセットや、独立昇降軸付水平多関節ロボット（DGCR）を展示した。

デモンストレーションしてもらったプロトスキャリア対応自動移載システムは、プロトスキャリアとカセット間で薄物ウエハを安全・確実に搬送するためのシステムだ。

近年微細化が進んでいるLEDのチップなどを運ぶ際、人間が作業すると髪の毛などのゴミが付着してしまう。そこで同システム内には、ファインフィルタユニット（HEPA仕様）を2基配置し、クリーン度を確保。ISOクラス2に対応した。

LEDのチップやウエハなど、クリーンな環境を必要とする製品をクリーンなまま運ぶことができる。

被搬送物はシリコンウエハとプロトススペーサ（層間紙）で、それらを自動識別できる。カラーセンサを搭載しているため、色の異なるプロトススペーサ（層間紙）も検出可能だ。

各種ウエハ、プロトススペーサ（層間紙）の登録にも対応。別途展示されているベルヌーイチャックを搭載していることで、薄物ウエハも自動移載できる。