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タグ：レーザー散乱光応用技術

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  • 2022-9-13
  • ニュース, 技術ニュース, 電気・電子系
  • Dynamic AGE-ing, SiC, カーボンニュートラル, パワー半導体, レーザー散乱光応用技術, 加工ひずみ, 品質管理, 山梨技術工房, 検査技術, 炭化ケイ素, 研究, 豊田通商, 関西学院大学

  パワー半導体向けSiCウエハーの加工ひずみ検査技術を開発――レーザー散乱光応用技術を適応　豊田通商ら

  豊田通商は2022年9月9日、関西学院大学および山梨技術工房と共同で、パワー半導体材料の炭化ケイ素（SiC）ウエハー製造プロセスで生じる、結晶のひずみを検査する技術を開発したと発表した。 現在主流のパワー半導体材料…

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