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タグ：原子層堆積ALD法

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  • 2020-7-30
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  • CVD法, インジウム・トリアゼニド, トリアゼニド分子, バンドギャップ, プリカーサ分子, リンショーピング大学, 原子層堆積ALD法, 学術, 次世代型高周波デバイス, 無線データ通信, 窒化インジウム（InN）, 電子移動度

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