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タグ：CFB技術

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  • 2023-9-6
  • ニュース, 化学・素材系, 技術ニュース, 電気・電子系
  • CFB技術, GaN, OKI, QST基板, ウエハー, エピタキシャル基板, パワーデバイス, 信越化学工業, 剥離, 接合

  QST基板上でのGaN剥離、異種材料基板への接合技術を開発――縦型GaNパワーデバイスの実現に寄与　OKIと信越化学工業

  OKIと信越化学工業は2023年9月5日、QST基板からGaN機能層のみを剥離し、異種材料基板に接合する技術を開発したと発表した。GaNの縦型導電が可能となるため、大電流を制御できる縦型GaNパワーデバイスの実現に寄与す…

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