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タグ：大口径ウェハー

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  • 2022-12-19
  • 化学・素材系, 技術ニュース
  • 3C-SiC, Nature Communications, エア・ウォーター, 半導体材料, 大口径ウェハー, 大阪公立大学, 東北大学, 炭化ケイ素, 熱伝導率, 研究, 高放熱性デバイス

  半導体材料3C-SiCの高い熱伝導率を初めて実証　大阪公立大など研究グループ

  大阪公立大学と米イリノイ大学、東北大学、エア・ウォーターなどの研究グループは2022年12月15日、エア・ウォーターが開発した半導体材料3C-SiCが理論値に相当する高い熱伝導率を示すことを、熱伝導率の評価と原子レベルの…

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