タグ：MEMS
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感度100倍以上でノイズ10分の1以下のMEMS加速度センサーを開発――1μGレベルの高分解能を検出 東京工業大学など
東京工業大学は2019年7月23日、NTTアドバンステクノロジとの共同研究グループが、感度を従来比100倍以上に向上し、ノイズを従来比10分の1以下に低減したMEMS加速度センサーを開発したと発表した。同センサーは、複数…詳細を見る-
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キログラムの基準が130年振りに変更――キログラム原器からプランク定数ベースに
5月20日は、1875年にメートル条約が締結されたことを記念して定められた国際計量記念日だが、2019年の5月20日は特別な日として技術者・研究者の記憶に残ることになるだろう。この日、1889年以来およそ130年間にわた…詳細を見る-
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NIMS、電気信号で駆動させる単結晶ダイヤモンドセルフセンシングMEMSチップを開発
物質・材料研究機構（NIMS）は2018年10月30日、室温で世界最高レベルの高品質因子（Q値） を持つダイヤモンドカンチレバーおよび電気信号による駆動と、センシングを一体化した単結晶ダイヤモンドMEMSセンサーチップの…詳細を見る-
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IoT機器やウェアラブル機器などの小型化／低消費電力化に貢献――村田製作所、世界最小の「32.768kHz MEMS 振動子」を開発
村田製作所は2018年10月4日、IoT機器やウェアラブル機器などの小型化／低消費電力化に貢献する世界最小の「32.768kHz MEMS 振動子」を開発したと発表した。 小型化／長時間稼動が求められるIoT機器や…詳細を見る-
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リコーインダストリアルソリューションズ、2軸駆動の新型MEMSを採用したスペックル低減モジュールを開発
リコーインダストリアルソリューションズは2018年8月30日、プロジェクター業界向けに、独自に開発した2軸駆動のMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）を採用したスペックル低減モジュー…詳細を見る-
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微細な金属材料と樹脂材料の複合立体形成技術を、長野県と地元企業が共同開発
センサーおよびMEMS製品を手がける長野県のテクノロジー・イノベーションは2018年2月7日、同じく長野県の小野田製作所および同県工業技術総合センター精密・電子・航空技術部門と共同で、微細な金属材料と樹脂材料を複合させ立…詳細を見る-
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日立、微小な振動を高感度・低消費電力で検出できるMEMS加速度センサーを開発
日立製作所（日立）は2018年1月22日、MEMS（微小電気機械システム）技術と回路技術を融合して、地盤や構造物からの微小振動を高感度かつ低消費電力で検出できるMEMS加速度センサーを開発したと発表した。資源探査やインフ…詳細を見る-
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入曽精密と微細切削加工研究所、100μm角の金属製サイコロを切削加工により制作
入曽精密と微細切削加工研究所は2016年12月12日、コンピューター制御の汎用工作機械（マシニングセンター）を用い、一辺100μm角の金属製のサイコロを制作したと発表した。 1mm以下の極小サイズ部品は、電子ビーム…詳細を見る-
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東芝、スピントロニクス技術による超高感度のひずみ検知素子技術を開発
東芝は2017年6月19日、MEMS（Micro Electro Mechanical Systems：極小の電気機械システム）センサー向けに、従来の金属ひずみゲージの2500倍、半導体ひずみゲージの100倍以上の超高感…詳細を見る-
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MEMSを扱える企業・求人は？
MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）とは？ MEMSとは、ミクロンサイズの超小型集積回路を作成、実装する技術のこと。半導体プロセスで作られる微小構造センサ、たとえば自動車向け…詳細を見る-
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