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SiCを結晶生成する黒鉛ルツボの劣化を抑制する、厚膜コーティング技術「SinTac」を開発 豊田中央研究所
豊田中央研究所は2024年11月27日、パワー半導体材料となるSiC(炭化ケイ素)を結晶生成する黒鉛ルツボ(以下、ルツボ)の劣化を抑制する、炭化タンタルの厚膜コーティング技術「SinTaC」を発表した。ルツボが再使用でき…詳細を見る
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