タグ：製膜
-
大面積の強誘電体結晶薄膜をSi基板上に作製する新手法を開発 東京大学
東京大学大学院工学系研究科の研究グループは2024年7月18日、バッファ層とスピンコート法を組み合わせ、大面積の強誘電体結晶薄膜をSi基板上に作製する新たな手法を発表した。 比較的低温かつ常圧で製膜できるスピンコー…詳細を見る-
-
-
世界初、Phantom SVD法で二酸化ゲルマニウムを4インチSiウエハ上に製膜 立命館大学、Patentix
立命館大学総合科学技術研究機構の金子健太郎教授らは2023年11月16日、Patentixと共同で、世界で初めて、Phantom SVD（ファントム局所的気相成長）法により、二酸化ゲルマニウム（GeO2）を4インチSiウ…詳細を見る-
-
