タグ：半導体製造
-
プラズマを半導体材料に照射する加工技術を開発――同技術で発光デバイスも作製 名古屋大学ら
名古屋大学は2023年1月10日、同大学と自然科学研究機構 核融合科学研究所、北海学園大学、東京大学の共同研究チームが、プラズマを半導体材料に照射する加工技術や同技術を用いた発光デバイスを開発したと発表した。 半導…詳細を見る-
-
-
深紫外光を透過する新たな電極材料を開発――深紫外光エレクトロニクスデバイスの高効率化や産業応用に期待 東京都立大学ら
東京都立大学は2022年12月13日、同大学大学院理学研究科と東京大学大学院理学系研究科、筑波大学数理物質系の共同研究グループが、深紫外光を透過する新たな電極材料を開発したと発表した。 深紫外光は、殺菌や浄化、半導…詳細を見る-
-
-
UVナノインプリントリソグラフィでの樹脂充填プロセスにおける分子の挙動をシミュレーション 東京理科大
東京理科大学は2022年8月9日、同大学先進工学部電子システム工学科の研究チームが、UV（紫外線）ナノインプリントリソグラフィにおける樹脂充填プロセスの際の分子の挙動をシミュレーションすることで、数nmのトレンチ（溝）へ…詳細を見る-
-
